吹洗体积的词语属性

吹洗体积的百科含义

吹洗体积p.}rged }alume拟被吹除或置换的不需要的气体所占据的管道、阀门，减压器和其他部件的体积之和。在半导体厂供气系统中，要求尽量缩短供气管，阀门、J}压器和其他配件的内部容积应尽叮能小，没食死体积，与气休接触的材质表面光洁，不吸附气体和水分，不放气、无粒子脱落。满x}` }}i}}条件就可以减少吹洗用气休量，缩短吹洗时间。